潔凈室空氣污染控制：高效過濾器（HEPA）重要性及檢漏方法和標準
潔凈室空氣污染控制：高效過濾器（HEPA）重要性及檢漏方法和標準
潔凈室需要空氣過濾器，以防止污染物通過其暖通空調(diào)系統(tǒng)進入潔凈室。潔凈室是受控制的環(huán)境，其中溫度/濕度、壓力和顆粒物的控制對于最佳操作性能至關(guān)重要。潔凈室是根據(jù)特定工藝所需的清潔度進行設(shè)計的。在進行微芯片制造的半導(dǎo)體行業(yè)中，空氣過濾具有更高的效率，因為微芯片對顆粒非常敏感，尤其是在處理晶片時會楔入晶片上導(dǎo)電電路之間的小顆粒。
高效微?？諝膺^濾器（HEPA）-這些過濾器在污染控制方面非常有效。它們過濾小到0.3微米的顆粒，廣泛用于制藥設(shè)施。ULPA（超高顆粒空氣過濾器）可過濾0.12微米以下的顆粒，廣泛用于半導(dǎo)體設(shè)備。
過濾器在潔凈室中的重要性
通過幾個活動管理潔凈室內(nèi)的污染控制高效空氣過濾器或UPLA過濾器在潔凈室中的作用至關(guān)重要。高效微?？諝猓℉EPA）過濾器的效率最高必須達到99.97%穿透顆粒，0.3微米。該效率評級由美國能源部于以成為真正的高效空氣過濾器。
高效空氣過濾器規(guī)格
根據(jù)大多數(shù)美國人采用的美國能源部（DOE）標準的定義工業(yè)中，高效空氣過濾器在直徑過濾器對氣流的最小阻力或壓降通常規(guī)定在300帕斯卡（0.044磅/平方英寸）。
歐盟使用的規(guī)范：歐洲標準EN 1822-1:2009定義了HEPA過濾器的類別，通過其在給定的最具穿透性的顆粒尺寸（MPPS）下的保持力。
根據(jù)GMP，過濾器必須無泄漏。根據(jù)ISO 14644-3，通過鑒定和定期進行泄漏測試來驗證這一點。高效空氣過濾器結(jié)構(gòu)、性能、標簽和認證的推薦做法由環(huán)境科學(xué)研究所維護以及美國保險商實驗室（UL）。主要要求包括：
■ IEST-RP-C021“測試HEPA和ULPA介質(zhì)，該介質(zhì)管理過濾器的要求媒體
■ IEST-RP-CC001“高效微?？諝膺^濾器和超微?？諝膺^濾器”，管理整個過濾器結(jié)構(gòu)和標簽要求
■ IEST-RP-C034“HEPA和ULPA過濾器泄漏測試，適用于HEPA和UL PA過濾器滲透（泄漏）試驗
■ 符合UL900可燃性要求的測試和認證
■ 美國標準MIL-STD-282
其他測試標準包括：
■ ISO 14644-3試驗方法——合格者在安裝過濾器泄漏試驗過程中使用
■ ISO 29463（2017）-用于去除空氣中顆粒的高效過濾器和過濾介質(zhì)
■ ISO 16890（2017）-一般通風(fēng)用空氣過濾器
■ PIC/s PI 032-2 GMP指南
■ 高效微?？諝膺^濾器/超微粒空氣過濾器制造商使用的EN1822
高效過濾器的檢漏是非常重要的一項工作，在國家GMP 相關(guān)法規(guī)標準里面也提出了明確的要求，要定期對高效過濾器進行檢漏。
